2022-10-22 16:33:45
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磁控溅射镀膜机常见故障有哪些?一定要注意!
当磁控溅射镀膜机出现故障时,你首先要向用户了解故障的现象,然后你要自己开机观察故障,这样才能更准确、更快速、更合理地排除故障。
故障排除应首先检查低磁控溅射是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室)。低磁控溅射正常后,启动主泵。主泵正常后,检查下腔磁控溅射是否正常,然后打开高阀进行高磁控溅射检测和检漏,直至达到磁控溅射。极端磁控溅射、磁控溅射保存和恢复,如极端磁控溅射和磁控溅射保存,都是正常的。但是如果恢复和磁控溅射不正常,可能是主泵有问题。
今天我就列举一些磁控溅射镀膜机使用中的常见故障和解决方法。
一是当涂层正在进行时,磁控溅射突然下降
1.蒸发源水路围裙损坏(更换围裙)。
2.坩埚损坏(坩埚被更换)
3.高压电极的密封被破坏(更换胶圈)。
4.旋转密封处的橡胶圈损坏(更换橡胶圈)。
5.预阀突然关闭可能是两位五通阀损坏(更换两位五通阀)。
6.高阀突然关闭可能是两位五通阀损坏(更换两位五通阀)。
7.当机械泵停止时,继电器可能断开(检查继电器是否正常)
8.烘烤引入线的电极密封损坏(更换围裙)。
9.挡板动密封处的裙板损坏(更换裙板)。
10.玻璃观察镜破裂爆裂(更换玻璃)。
二是磁控溅射镀膜机抽磁控溅射时间过长,达不到磁控溅射、恢复磁控溅射、极限磁控溅射、磁控溅射保存。
1.蒸发室内有很多灰尘(应该清洗一下)。
2.扩散泵很久没换油了(应该清洗换了)。
3.前级泵背压过高,机械泵磁控溅射度过低(应清洗更换)。
4.动态密封胶圈损坏(更换胶圈)
5.由于蒸发室长期高温,密封胶圈老化(更换胶圈)。
6.蒸发室各进水道的密封处是否有橡胶圈损坏(更换橡胶圈)
7.各引入座螺丝螺母是否松动(重新压紧)。
8.高、低预阀是否密封可靠(注油)
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